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      單通道系列 Single Channel Chiller
      

      

      




      

      

      單通道系列 Single Channel Chiller
      




      




      




      適用范圍
      



      FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
      
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。
      

      加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進(jìn)的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。
      

      




      




        全國服務(wù)熱線 400-100-3163
      

      

      

      

      




      




      

      
 
      

      

      

      

      




      




      

      

      

      

      產(chǎn)品參數(shù)
      




      Product Parameter
      

      

      




      

       
      

      


      
型號(hào)
FLTZ-001
      
FLTZ-001W      		
FLTZ-002
      
FLTZ-002W      		
FLTZ-003
      
FLTZ-003W      		
FLTZ-004
      
FLTZ-004W      		
FLTZ-006
      
FLTZ-006W      		
FLTZ-008
      
FLTZ-008W      		
FLTZ-010
      
FLTZ-010W      		
FLTZ-015
      
FLTZ-015W      		

      

      
溫度范圍
5℃～40℃(可擴(kuò)展到90℃)

      

      
控制模式
循環(huán)液出口溫度控制

      

      
工件負(fù)載溫度控制（選配）

      

      
出口控溫精度
±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）

      

      
工藝工程溫度控制
可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

      

      
制冷量@20℃
2.5kW
6kW
9kW
10kW
15kW
20kW
25kW
38kW

      

      
加熱能力
0.5kW
1kW
1.5kW
2kW
3kW
4kW
5.5kW
7.5kW

      

      
介質(zhì)類型
氟化液、乙二醇水溶液或DI水等

      

      
制冷劑類型
R404A、R410A或R448A

      

      
介質(zhì)流量壓力
15LPM@3bar
15LPM@3bar
30LPM@3bar
30LPM@3bar
30LPM@3bar
30LPM@5bar
30LPM@5bar
30LPM@5bar

      

      
介質(zhì)接口
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4

      

      
冷卻水
0.6m3/h@23℃
1.1m3/h@23℃
1.6m3/h@23℃
2.2m3/h@23℃
3.3m3/h@23℃
4.4m3/h@23℃
5.5m3/h@23℃
8m3/h@23℃

      

      
冷卻水接口
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc1
Rc1 1/4

      

      
膨脹罐容積
10L
10L
10L
15L
15L
20L
25L
35L

      

      
流量控制
15LPM~25LPM
15LPM~25LPM
15LPM~25LPM
15LPM~30LPM
15LPM~30LPM
15LPM~30LPM
20LPM~50LPM
20LPM~50LPM

      

      
流量顯示精度
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM

      

      
操作面板
7寸彩色觸摸屏

      

      
安全防護(hù)
具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù)

      

      
通訊類型
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。

      

      
安裝環(huán)境
No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w
      
30-70%(No condensation)      		

      

      
電源
220?VAC?±?10%，單相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)
380?VAC?±?10%，三相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)

      

      
總用電功率（max）
2.5kW
4.5kW
6kW
7kW
11kW
15kW
18.5kW
25kW

      

      
外殼材質(zhì)
冷軋板噴塑RAL7035

      

      
水冷外形尺寸cm
40*90*100
48*100*115
48*100*115
50*108*130
50*108*140
80*100*165
90*110*165
100*120*165

      

      
非標(biāo)定制
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證

      
      

      

       
      

      


      
型號(hào)
FLTZ-202
      
FLTZ-202W      		
FLTZ-203
      
FLTZ-203W      		
FLTZ-204
      
FLTZ-204W      		
FLTZ-206
      
FLTZ-206W      		
FLTZ-208
      
FLTZ-208W      		
FLTZ-210
      
FLTZ-210W      		
FLTZ-215
      
FLTZ-215W      		

      

      
溫度范圍
-25℃～90℃

      

      
控制模式
循環(huán)液出口溫度控制

      

      
工件負(fù)載溫度控制（選配）

      

      
出口控溫精度
±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）

      

      
工藝工程溫度控制
可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

      

      
制冷量@-15℃
1kW
2kW
2.5kW
4kW
6kW
8kW
12kW

      

      
制冷量@-20℃
0.8kW
1.5kW
2kW
3.5kW
5kW
6.5kW
10kW

      

      
加熱能力
1.5kW
1.5kW
2kW
3kW
4kW
5.5kW
7.5kW

      

      
介質(zhì)類型
氟化液、乙二醇水溶液

      

      
制冷劑類型
R404A

      

      
介質(zhì)流量壓力
15LPM@3bar
15LPM@3bar
30LPM@3bar
30LPM@3bar
30LPM@3bar
30LPM@5bar
30LPM@5bar

      

      
介質(zhì)接口
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc3/4

      

      
冷卻水
1.1m3/h@23℃
1.6m3/h@23℃
2.2m3/h@23℃
3.3m3/h@23℃
4.4m3/h@23℃
5.5m3/h@23℃
8m3/h@23℃

      

      
冷卻水接口
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc1
Rc1 1/4

      

      
膨脹罐容積
10L
10L
15L
15L
20L
25L
35L

      

      
流量控制
15LPM~25LPM
15LPM~25LPM
15LPM~30LPM
15LPM~30LPM
15LPM~30LPM
20LPM~50LPM
20LPM~50LPM

      

      
流量顯示精度
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM

      

      
操作面板
7寸彩色觸摸屏

      

      
安全防護(hù)
具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù)

      

      
通訊類型
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。

      

      
安裝環(huán)境
No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w
      
30-70%(No condensation)      		

      

      
電源
380?VAC?±?10%，三相/220?VAC?±?10%，三相(可定制)

      

      
總用電功率(max)
4.5kW
6kW
7kW
11kW
15kW
18.5kW
25kW

      

      
外殼材質(zhì)
冷軋板噴塑RAL7035

      

      
水冷外形尺寸cm
48*100*115
48*100*115
50*108*130
50*108*140
80*100*165
90*110*165
100*120*175

      

      
非標(biāo)定制
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證

      
      

      

       
      

      


      
型號(hào)
FLTZ-402
      
FLTZ-402W      		
FLTZ-403
      
FLTZ-403W      		
FLTZ-404
      
FLTZ-404W      		
FLTZ-406
      
FLTZ-406W      		
FLTZ-408
      
FLTZ-408W      		
FLTZ-410
      
FLTZ-410W      		
FLTZ-415
      
FLTZ-415W      		

      

      
溫度范圍
-40℃～90℃

      

      
控制模式
循環(huán)液出口溫度控制

      

      
工件負(fù)載溫度控制（選配）

      

      
出口控溫精度
±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）

      

      
工藝工程溫度控制
可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

      

      
制冷量@-10℃
1.5kW
3kW
3.2kW
5kW
7kW
9kW
13kW

      

      
制冷量@-30℃
0.6kW
1kW
1.3kW
2kW
2.8kW
4kW
5.5kW

      

      
加熱能力
1kW
1.5kW
2kW
3kW
4kW
5.5kW
7.5kW

      

      
介質(zhì)類型
氟化液、乙二醇水溶液

      

      
制冷劑類型
R404A

      

      
介質(zhì)流量壓力
15LPM@3bar
15LPM@3bar
25LPM@3bar
25LPM@3bar
25LPM@3bar
30LPM@5bar
30LPM@5bar

      

      
介質(zhì)接口
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc3/4

      

      
冷卻水
1.1m3/h@23℃
1.6m3/h@23℃
2.2m3/h@23℃
3.3m3/h@23℃
4.4m3/h@23℃
5.5m3/h@23℃
8m3/h@23℃

      

      
冷卻水接口
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc1
Rc1 1/4

      

      
膨脹罐容積
10L
10L
15L
15L
20L
25L
35L

      

      
流量控制
15LPM~25LPM
15LPM~25LPM
15LPM~30LPM
15LPM~30LPM
15LPM~30LPM
20LPM~50LPM
20LPM~50LPM

      

      
流量顯示精度
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM

      

      
操作面板
7寸彩色觸摸屏

      

      
安全防護(hù)
具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù)

      

      
通訊類型
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。

      

      
安裝環(huán)境
No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w
      
30-70%(No condensation)      		

      

      
電源
380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)

      

      
總用電功率（max）
4.5kW
6kW
7kW
11kW
15kW
18.5kW
25kW

      

      
外殼材質(zhì)
冷軋板噴塑RAL7035

      

      
水冷外形尺寸cm
48*100*115
50*108*140
50*108*140
50*108*150
80*100*165
90*110*165
100*120*175

      

      
非標(biāo)定制
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證

      
      

      

       
      

       
      

      


      
型號(hào)
FLTZ-803
      
FLTZ-803W      		
FLTZ-805
      
FLTZ-805W      		
FLTZ-806
      
FLTZ-806W      		
FLTZ-808W
FLTZ-8010W
FLTZ-8015W
FLTZ-8025W

      

      
溫度范圍
-80℃～50℃(可擴(kuò)展到100℃)

      

      
控制模式
循環(huán)液出口溫度控制

      

      
工件負(fù)載溫度控制（選配）

      

      
出口控溫精度
±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）

      

      
工藝工程溫度控制
可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

      

      
制冷量@25℃
3kW
4.5kW
5kW
6.5kW
9kW
14kW
25kW

      

      
制冷量@-55℃
1kW
2.5kW
2.8kW
3.2kW
4.8kW
7.5kW
10.2kW

      

      
制冷量@-70℃
0.6kW
1.2kW
1.5kW
2kW
2.8kW
5.5kW
8kW

      

      
加熱能力
1.5kW
2.5kW
3kW
4kW
5.5kW
7.5kW
11kW

      

      
制冷劑類型
R404A/R508B

      

      
介質(zhì)類型
氟化液

      

      
介質(zhì)流量壓力
15LPM@3bar
20LPM@3bar
25LPM@3bar
35LPM@5bar
35LPM@5bar
35LPM@5bar
35LPM@5bar

      

      
介質(zhì)接口
Rc1/2
Rc1/2
Rc1/2
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4

      

      
冷卻水
2m3/h@23℃
3m3/h@23℃
3.6m3/h@23℃
4.8m3/h@23℃
7m3/h@23℃
10m3/h@23℃
15m3/h@23℃

      

      
冷卻水接口
Rc1/2
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4
Rc1
Rc1 1/4
Rc2

      

      
膨脹罐容積
15L
15L
15L
30L
30L
40L
40L

      

      
流量控制
15LPM~25LPM
15LPM~25LPM
15LPM~30LPM
20LPM~50LPM
20LPM~50LPM
20LPM~50LPM
20LPM~50LPM

      

      
流量顯示精度
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM

      

      
操作面板
7寸彩色觸摸屏
10寸彩色觸摸屏

      

      
安全防護(hù)
具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù)

      

      
通訊類型
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。

      

      
安裝環(huán)境
No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w
      
30-70%(No condensation)      		

      

      
電源
380?VAC?±?10%，三相(可定制)

      

      
總用電功率（max）
8.5kW
12.5kW
16kW
22kW
27.5kW
38kW
60kW

      

      
外殼材質(zhì)
冷軋板噴塑RAL7035

      

      
水冷外形尺寸cm
65*90*165
70*95*175
70*95*175
80*120*185
80*120*185
100*130*185
120*160*195

      

      
非標(biāo)定制
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證

      
      

      

       
      

      


      
型號(hào)
FLTZ-1002W
FLTZ-1004W
FLTZ-1006W

      

      
溫度范圍
-100℃～90℃（(可擴(kuò)展到100℃)）

      

      
控制模式
循環(huán)液出口溫度控制

      

      
工件負(fù)載溫度控制（選配）

      

      
出口控溫精度
±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）

      

      
工藝工程溫度控制
可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級(jí)算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

      

      
制冷量@-90℃
1.5kW
3kW
6kW

      

      
加熱能力
3.5kW
5.5kW
15kW

      

      
介質(zhì)類型
氟化液

      

      
制冷劑類型
混合冷媒

      

      
介質(zhì)流量壓力
30LPM@6bar
30LPM@6bar
30LPM@6bar

      

      
介質(zhì)接口
Rc3/4
Rc3/4
Rc3/4

      

      
冷卻水
6.6m3/h
10m3/h
18m3/h

      

      
冷卻水接口
Rc1
Rc1 1/2
Rc2

      

      
膨脹罐容積
30L
30L
40L

      

      
流量控制
20LPM~40LPM
20LPM~40LPM
20LPM~40LPM

      

      
流量顯示精度
±0.5LPM
±0.5LPM
±0.5LPM

      

      
操作面板
10寸彩色觸摸屏

      

      
安全防護(hù)
具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、漏液報(bào)警、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及低液位保護(hù)

      

      
通訊類型
支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。

      

      
安裝環(huán)境
No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w
      
30-70%(No condensation)      		

      

      
電源
380?VAC?±?10%，三相(可定制)

      

      
總用電功率(max)
20.5kW
27.5kW
55kW

      

      
外殼材質(zhì)
冷軋板噴塑RAL7035

      

      
水冷外形尺寸cm
80*120*185
100*150*185
120*160*195

      

      
非標(biāo)定制
帶自動(dòng)吹掃功能、自動(dòng)補(bǔ)液、自動(dòng)排液功能，可定制設(shè)計(jì)滿足SEMI或CE等認(rèn)證

      
      

      

       
      

      1.額定測(cè)試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。
      

      2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊(cè)有更新恕不另行通知，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。
      

      3.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。
      

      4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機(jī)供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar
      

       
      

      應(yīng)用原理：
      

      CHILLER單通道變頻設(shè)備集成單級(jí)蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，并且同時(shí)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控溫功能，為用戶提供相溫度的冷卻介質(zhì)，適用于刻蝕、光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等設(shè)備領(lǐng)域制冷加熱控溫。
      

      核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：
      

      1.高效節(jié)能：設(shè)備可通過內(nèi)置變頻器根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷自動(dòng)調(diào)節(jié)泵及壓縮機(jī)頻率，保證機(jī)組運(yùn)行狀態(tài)穩(wěn)定適配末端負(fù)載情況，避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對(duì)抗，達(dá)到節(jié)能效果。
      

      2.精準(zhǔn)控溫： 采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.1℃，適用于精密制造場(chǎng)景。
      

      3.多場(chǎng)景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用（采用去離子水可滿足微電子領(lǐng)域用戶冷媒介質(zhì)低導(dǎo)電率需求)。
      

      

      

      

      

      




      

      

      

      

      行業(yè)應(yīng)用
      




      APPLICATION
      

      

      




      

      

      

      

      

      

      




      




      半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
      




      

      

      半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
      




      精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
      

      

      





      

      

      

      

      




      

      

      

      

      

      




      




      半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
      




      

      

      半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。